Euv 펠리클 : 아라보자이물질로부터 포토마스크 보호해 세척 비용 감소 세척

Euv 펠리클 Euv 펠리클 언제 상용화EUV 대장주 에스앤에스텍 EUV 펠리클과 블랭크마스크 하이 NA EUV 시대 오면 펠리클도 확 KDB NextRoundMesh 구조의 소재로 Particle 침투 risk 위한 차세대 박막 공정 기술 개발시뮬레이션을 통한 YouTubeEUV용 현미경 마스크 리뷰 펠리클 투과율 측정기 아라보자이물질로부터 포토마스크 보호해 세척 비용 감소 세척