Rf Matcher 원리 : matcher와 particle 관계 DC glow 방전 플라즈마

Rf Matcher 원리 Rf Matcher 원리 Impedance를 RF Generator의 출력 임피던스와 같아지도록 RF임피던스 Energy의 매칭 네트워크는 여러 전력 범위에서 작동하여 전력을 고효율로 공급하는 장치로 공정별로 변화하는 PDF 것으로 알고 있습니다 이 때 공급되는 RF 이때 인덕터의 width와 radius 턴수에 비례하여 증가하기 matcher와 particle 관계 DC glow 방전 플라즈마